兆聲清洗機(jī)是以高頻(850kHz)振效應(yīng)并結(jié)合化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗為原理的清洗設(shè)備。
兆聲清洗機(jī)不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn),而且克服了它的不足。在清洗時(shí),由換能器發(fā)出波長(zhǎng)為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng),大瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此,形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。
兆聲清洗機(jī)操作規(guī)程:
1、遵守鑄造設(shè)備通用操作規(guī)程。
2、工作前還必須遵守:
a、檢查管路系統(tǒng)有無(wú)漏氣漏水的情況,如有這種情況,應(yīng)通知維修人員修理。
b、檢查清洗液是否足夠,如果不夠,及時(shí)增加清洗液。
c、先點(diǎn)動(dòng)試車(chē),然后空運(yùn)轉(zhuǎn)2-3分鐘,檢查傳動(dòng)系統(tǒng)(電動(dòng)機(jī)、聯(lián)軸節(jié)、減速器)和運(yùn)輸帶的運(yùn)動(dòng)是否平穩(wěn),確認(rèn)一切正常后,方可進(jìn)行生產(chǎn)。
d、開(kāi)啟浮油排除裝置(不帶浮油排除裝置除外)開(kāi)始浮油排除,因此時(shí)水泵尚開(kāi)啟,水面平靜,排油效果,待浮油基本排除后停止除油,排油污多克利用午休時(shí)間進(jìn)行。
3、工作中還必須遵守:
a、被清洗的零件要整齊地放在運(yùn)輸帶上,不許壓在滾輪上;
b、在運(yùn)輸帶上,被清洗的零件不能堆得過(guò)多,以免影響清洗效果。
c、工作后,被清洗的零件不能停放在運(yùn)輸帶上,按停止按鈕,使全機(jī)停止運(yùn)行。
d、清洗液應(yīng)定期添加水和一定比例的金屬清洗劑以補(bǔ)充消耗,使液面保持在一定高度,如果清洗效果達(dá)不到規(guī)定的工藝要求時(shí),應(yīng)全部更換清洗液。