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全自動磁控濺射系統(tǒng)是現(xiàn)代薄膜材料制備技術(shù)中一種重要的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、超導(dǎo)材料和光學(xué)薄膜等領(lǐng)域。此系統(tǒng)以其高效率、高均勻性和良好的膜層特性而受到重視。通過精確的控制技術(shù),自動化濺射過程使得膜層的性能更為穩(wěn)定并可重復(fù),大幅提高了生產(chǎn)效率。全自動磁控濺射系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)組成:1.真空腔體:提供低壓環(huán)境,通常采用不銹鋼或鋁合金制作,具有很好的密封性與耐腐蝕性。2.靶材:用于濺射的材料,常見的有金屬、合金或化合物。靶材的選擇直接影響薄膜的成分和性能。3.磁控裝置:通過調(diào)整磁場的...
全自動ICP刻蝕系統(tǒng)是一種先進的半導(dǎo)體制造設(shè)備,廣泛應(yīng)用于微電子、光電器件及MEMS(微電機械系統(tǒng))等領(lǐng)域。ICP(感應(yīng)耦合等離子體)刻蝕技術(shù)以其高效率、高選擇性和良好的均勻性而受到青睞。ICP刻蝕是一種利用感應(yīng)耦合等離子體產(chǎn)生高密度等離子體,并通過對其進行控制來實現(xiàn)對材料的去除過程。在該技術(shù)中,氟化氣體等化學(xué)試劑通過噴嘴進入反應(yīng)室,與等離子體中的電子和離子發(fā)生碰撞,形成活性物種,在材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),進而實現(xiàn)刻蝕。全自動ICP刻蝕系統(tǒng)的部分組成:1.反應(yīng)室:用于進行刻蝕反...
在現(xiàn)代科學(xué)研究和工業(yè)分析領(lǐng)域,對物質(zhì)的快速、準確分析需求日益增長。質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行時間質(zhì)譜儀(ProtonTransferReactionTime-of-FlightMassSpectrometry,PTR-TOF-MS)作為一種先進的分析儀器,以其高靈敏度、高分辨率、快速響應(yīng)等特點,在環(huán)境監(jiān)測、食品安全、生命科學(xué)等眾多領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行時間質(zhì)譜儀的特點:1.高靈敏度PTR-TOF-MS具有非常高的靈敏度,可以檢測到極低濃度的VOCs。這是由于質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)的...
金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是一種用于制造高質(zhì)量薄膜和納米結(jié)構(gòu)材料的重要技術(shù)。自其發(fā)展以來,MOCVD在半導(dǎo)體、光電子以及儲能材料等領(lǐng)域展現(xiàn)了廣泛的應(yīng)用前景。金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)組成:1.氣源供應(yīng)系統(tǒng):提供金屬有機前驅(qū)體和反應(yīng)氣體。常見的金屬有機前驅(qū)體包括三甲基鎵(TMGa)、三乙基鎵(TEGa)、三甲基銦(TMIn)等。這些前驅(qū)體通常是液態(tài)或固態(tài),通過加熱和載氣(如氫氣或氮氣)引入反應(yīng)室。2.反應(yīng)室:是MOCVD系統(tǒng)的核心部件,通常為高真空腔體。反應(yīng)室內(nèi)設(shè)有基片臺,用于放置...
光學(xué)鍍膜系統(tǒng)是一種廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備,用于在光學(xué)元件表面沉積一層或多層薄膜,以改變光的傳播和反射性能。這種系統(tǒng)可以通過控制薄膜的厚度和結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)特定的光學(xué)效果,比如增強透射、抑制反射、增強反射等。在各種領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,包括激光器、光學(xué)濾波器、太陽能電池、眼鏡鏡片等。光學(xué)鍍膜系統(tǒng)的工作原理基于薄膜的干涉效應(yīng)。當(dāng)光線進入被鍍膜的光學(xué)元件表面時,會經(jīng)過多層沉積的薄膜,不同材料、不同厚度和不同折射率的層次會產(chǎn)生干涉效應(yīng),從而影響光的傳播和反射性能。通過合理設(shè)計薄膜的...
等離子去膠機是一種常用于去除材料表面膠層的設(shè)備,主要通過等離子技術(shù)將膠層分解和去除。利用等離子體的高能量特性,通過放電產(chǎn)生的等離子體將膠層分解成氣體和離子,從而實現(xiàn)去除膠層的目的。等離子體是一種高溫、高能量的電離氣體,具有強氧化性和分解性,能夠快速將膠層分解成氣體和離子,使其脫離材料表面。等離子去膠機的工作流程:1.調(diào)整參數(shù):根據(jù)材料表面膠層的性質(zhì)和要求,設(shè)置去膠機的工作參數(shù),如放電功率、氣體流量、處理時間等。2.放電處理:將待處理的材料放置在去膠機的處理室內(nèi),啟動設(shè)備,通過...
熱真空環(huán)境模擬試驗設(shè)備是一種用于模擬太空環(huán)境下的高溫、低溫和真空條件的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于航天器、衛(wèi)星、航空器等領(lǐng)域的研發(fā)和測試。其主要功能是在真空環(huán)境中對器件或零部件進行熱載荷試驗,以驗證其在特殊環(huán)境下的性能和可靠性。熱真空環(huán)境模擬試驗設(shè)備的主要特點和工作原理:1.真空系統(tǒng):設(shè)備配備了高性能的真空泵和閥門系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)高度真空的環(huán)境。2.熱控系統(tǒng):設(shè)備具有精密的溫度控制系統(tǒng),可實現(xiàn)從-100℃至+150℃的溫度范圍內(nèi)的精確控制,以模擬太空環(huán)境中的高溫和低溫條件。3.載荷系統(tǒng):設(shè)...
熱真空環(huán)境模擬試驗設(shè)備是一種用于模擬真空環(huán)境下高溫條件下材料或設(shè)備性能的測試設(shè)備。它通常由真空室、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空泵、控制系統(tǒng)等組成,可用于模擬航空航天、汽車、船舶、航空發(fā)動機、核工程、電子元器件等領(lǐng)域的高溫真空環(huán)境,以評估材料和設(shè)備在特殊條件下的性能。熱真空環(huán)境模擬試驗設(shè)備的主要特點包括:1.高溫真空環(huán)境模擬:設(shè)備能夠模擬高溫條件下的真空環(huán)境,通??梢赃_到數(shù)千攝氏度的高溫,以滿足不同材料和設(shè)備的測試需求。2.精密控制系統(tǒng):設(shè)備配備了精密的溫度控制系統(tǒng)和真空度控制系統(tǒng)...