兆聲清洗機(jī)不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點,而且克服了它的不足。在清洗時,由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動,最大瞬時速度可達(dá)到30cm/s。因此,形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。
兆聲清洗機(jī)的操作規(guī)程:
1、遵守鑄造設(shè)備通用操作規(guī)程。
2、工作前還必須遵守:
a、檢查管路系統(tǒng)有無漏氣漏水的情況,如有這種情況,應(yīng)通知維修人員修理。
b、檢查清洗液是否足夠,如果不夠,及時增加清洗液。
c、先點動試車,然后空運轉(zhuǎn)2-3分鐘,檢查傳動系統(tǒng)(電動機(jī)、聯(lián)軸節(jié)、減速器)和運輸帶的運動是否平穩(wěn),確認(rèn)一切正常后,方可進(jìn)行生產(chǎn)。
d、開啟浮油排除裝置(不帶浮油排除裝置除外)開始浮油排除,因此時水泵尚開啟,水面平靜,排油效果好,待浮油基本排除后停止除油,排油污多克利用午休時間進(jìn)行。
3、工作中還必須遵守:
a、被清洗的零件要整齊地放在運輸帶上,不許壓在滾輪上;
b、在運輸帶上,被清洗的零件不能堆得過多,以免影響清洗效果。
c、工作后,被清洗的零件不能停放在運輸帶上,按停止按鈕,使全機(jī)停止運行。
d、清洗液應(yīng)定期添加水和一定比例的金屬清洗劑以補(bǔ)充消耗,使液面保持在一定高度,如果清洗效果達(dá)不到規(guī)定的工藝要求時,應(yīng)全部更換清洗液。