設(shè)備使用一個(gè)星期后(三班),因鍍料除鍍?cè)诠ぜ砻嫱?,亦因無定向性而工作室內(nèi)的襯板上鍍料,并越鍍?cè)胶?,該層膜厚因組織、繞疏松,吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來越慢。此時(shí),應(yīng)對(duì)工作室及襯板進(jìn)行清洗,如不必要拆落來的部件,可用砂紙打磨干凈,襯板可浸泡在水溶液里,水的比例看需要浸泡時(shí)間長(zhǎng)短以及不傷襯板為原則。
注:襯板必須烘干水份才能安裝,烘干前,襯板的水分盡量抹干,工作架等部件用砂紙清潔后,需要把真空室的所有灰塵清理干凈,此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時(shí),真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。
因使用電子槍及離子源輔助鍍膜,可能會(huì)造成清潔困難,可使用噴沙等方法來清潔。
光學(xué)鍍膜系統(tǒng)的保養(yǎng):
(一)定期更換擴(kuò)散泵油
擴(kuò)散泵油使用一段時(shí)間,約二個(gè)月(兩班),因在長(zhǎng)期高溫環(huán)境,雖然較高真空時(shí)才啟動(dòng)擴(kuò)散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴(kuò)散泵油起反應(yīng),擴(kuò)散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解,使其品質(zhì)下降,而延長(zhǎng)抽氣時(shí)間。在我們認(rèn)為時(shí)間延長(zhǎng)得太多時(shí),應(yīng)予更換。
(二)真空泵
機(jī)械泵油、維持泵油在使用二個(gè)月,油質(zhì)會(huì)發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設(shè)備,在使用頭半個(gè)月即應(yīng)更換,因在磨合期,油含磨合鐵粉較多,會(huì)加劇磨損。
(三)清潔衛(wèi)生
定期將設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好,常保持設(shè)備內(nèi)外清潔,將設(shè)備周圍環(huán)境整理有條,有一個(gè)好的工作環(huán)境,以保安全。