進口晶圓清洗機采用Nano-Master進口兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
進口晶圓清洗機設備特點：
▲可更換清洗吸盤，可使用4-12英寸的清洗吸盤；
▲操作程序可按作業(yè)需求編寫調整，設備運行流程、清洗時間及各項參數可自行編制；
▲設備運行狀態(tài)及參數在線實時監(jiān)控，自動門配有安全光柵，保證操作安全；
▲采用真空吸附式清洗盤，晶元夾具的取放更安全、方便；
▲擺臂式清洗，清洗范圍可編制，適用范圍廣、無清洗盲區(qū)、無二次污染，清洗效果更佳；
▲設備清洗室全密封，且配有自動擋水圈，有效防止二次污染；
▲高速離心設計，轉速可調節(jié)100-2000R/Min；
▲配備*的靜電消除裝置，輔助清洗達到最佳效果，可選擇使用氮氣；
▲設備配有大面積透明觀察窗；
▲縮減寬度的省空間設計，結構緊湊，占用空間小；
▲整機鏡面不銹鋼機身，能耐酸堿，對工作環(huán)境無污染，鏡面機殼易于保養(yǎng)。
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更新時間：2021-06-11 
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