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技術(shù)文章/ article
金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是納米制造領(lǐng)域的一項著名技術(shù),在大規(guī)模集成電路、絕緣材料、磁性材料、光電子材料領(lǐng)域有著*的重要地位。通過利用氣相間的反應(yīng),它能將蒸發(fā)的反應(yīng)物沉積在表面形成薄膜,比如說石墨烯就是CVD廣為認(rèn)知的產(chǎn)物,但目前看來,制備薄膜半導(dǎo)體材料也是它受重視的應(yīng)用之一。金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的原理:CVD的研究始于十九世紀(jì)末,主要用于重要材料的合成和制備。若想知道CVD是如何制造特定薄膜的,那就得先了解它的原理。CVD屬于“自下而上”的納米制造技術(shù),其原理是把含有構(gòu)成...
光學(xué)鍍膜系統(tǒng)是在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。簡單的光學(xué)薄膜模型是表面光滑、各向同性的均勻介質(zhì)薄層。在這種情況下,可以用光的干涉理論來研究光學(xué)薄膜的光學(xué)性質(zhì)。當(dāng)一束單色平面波入射到光學(xué)薄膜上時,在它的兩個表面上發(fā)生多次反射和折射,反射光和折射光的方向由反射定律和折射定律給出,反射光和折射光的振幅大小則由菲涅耳公式確定...
空間環(huán)境模擬試驗設(shè)備,用于極真空及可控均勻的加熱和冷卻循環(huán)套件下測試器件或樣品。該系統(tǒng)具有計算機控制、安全連鎖,以及多級密碼授權(quán)訪問保護的功能。它可以用于超過24小時的圈子全自動熱、冷循環(huán)情況下測試器件/樣品,溫度條件通過程序定義。該系統(tǒng)z通常的應(yīng)用之一是太空模擬。空間環(huán)境模擬試驗設(shè)備腔體的大致尺寸為:直徑24",長度43"。帶有一個16"x32"的滑動加熱平,可以冷卻到零下100攝氏度。熱真空平臺也可以加熱到150攝氏度,具有高度的均勻度。在去邊3cm后整個平臺的溫度均勻度...
熱真空試驗箱是專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設(shè)計的,工作時可使工作室內(nèi)保持一定的真空度,并能夠向內(nèi)部充入惰性氣體,特別是一些成分復(fù)雜的物品也能進行快速干燥,采用智能型數(shù)字溫度調(diào)節(jié)儀進行溫度的設(shè)定、顯示與控制。熱真空試驗箱外殼由鋼板沖壓折制、焊接成型,外殼表面采用高強度的靜電噴塑涂裝處理,漆膜光滑牢固。工作室采用碳鋼板或不銹鋼板折制焊接而成,工作室與外殼之間填充保溫棉。工作室的內(nèi)部放有試品擱板,用來放置各種試驗物品,工作室外壁的四周裝有云母加熱器。門封條采用硅橡膠條密封,...
進口光學(xué)鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成,其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。進口光學(xué)鍍膜機工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟?,材料受熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大,蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。進口光學(xué)鍍膜機維護與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。1.定期更換擴散泵油擴散泵油使用一段時...
我們的優(yōu)勢|離子束刻蝕NANO-MASTER的離子束刻蝕系統(tǒng)有很強的適應(yīng)性,可以根據(jù)不同的應(yīng)用建立不同的結(jié)構(gòu),不同的樣品臺和離子源配置可實現(xiàn)不同的應(yīng)用范圍。系統(tǒng)中的樣品臺可實現(xiàn)正負(fù)90°傾斜、旋轉(zhuǎn)、水冷和背氦冷卻。NM成熟的技術(shù)可控制基片溫度在50℃以內(nèi)。通過傾斜和旋轉(zhuǎn),深溝可切成斜角,通過控制側(cè)壁輪廓和徑向可提高均勻性,不同的構(gòu)造不同的應(yīng)用可選擇不同的選配項,也可增加濺射實現(xiàn)刻蝕之后的涂覆保護。應(yīng)用十分廣泛。NANO-MASTER的離子束刻蝕在行業(yè)中非常有競爭力,它憑什么可...
NANO-MASTERNLD-4000型等離子增強原子層沉積系統(tǒng)可以提供高品質(zhì)的薄膜沉積,通過配套ICP離子源系統(tǒng)可以支持PEALD和T-ALD等廣泛應(yīng)用。眾多的優(yōu)勢配置,使得NLD-4000型系統(tǒng)具有許多優(yōu)勢:√超高的薄膜均勻性√良好的粘附力√超凈的沉積(高真空支持)√出色的工藝控制√高度的可重復(fù)性(計算機全自動工藝控制)√易使用(可直接調(diào)用編好的工藝程序)√運行可靠(所有核心組件均帶有保護)√低維護(完整的安全互鎖)√高、低溫基片樣品臺√小的占地面積26”x44”√全自動...
隨著光學(xué)鍍膜設(shè)備的技能開展不斷改造,而硬質(zhì)薄膜的設(shè)計向著多元化、多層膜的方向開展。變成現(xiàn)在公司選擇的鍍膜技能。今天咱們經(jīng)過專家剖析后,給予具體作答。鍍膜機的正常操作辦法應(yīng)當(dāng)參閱操作手冊的指示操作。不過大致的操作程序,咱們簡略的說一下吧:1.查看光學(xué)鍍膜設(shè)備各操作操控開關(guān)是不是在"關(guān)"位置。2.翻開總電源開關(guān),光學(xué)鍍膜設(shè)備送電。3.低壓閥拉出。開充氣閥,聽不到氣流聲后,發(fā)動升鐘罩閥,鐘罩升起。4.裝置固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在滾動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱...