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隨著原子層沉積技術(shù)與其他先進技術(shù)不斷融合以及人們對原子層沉積設(shè)備的不斷改進，諸如“等離子體增強原子層沉積技術(shù)”、“空間式原子層沉積技術(shù)”、“流化床原子層沉積技術(shù)”等新型原子層沉積技術(shù)逐漸出現(xiàn)并在一定程度上有效解決了傳統(tǒng)熱原子層沉積技術(shù)所面臨的諸多難題。在過去二十多年，等離子體增強原子層沉積技術(shù)發(fā)展迅速。通過巧妙設(shè)計等離子體引入方式，人們已經(jīng)設(shè)計出各種等離子體增強原子層沉積設(shè)備。從文獻報道來看，針對太陽能光伏領(lǐng)域的應(yīng)用，一套成熟的空間式原子層沉積設(shè)備需保證每小時超過3000片1...

我們大部分人都知道等離子有清洗活化的功能，今天我們來探討下等離子去膠機。等離子去膠機反應(yīng)機理：在干法等離子去膠技術(shù)中，氧是首要腐蝕氣體。它在真空等離子去膠機反響室中受高頻及微波能量效果，電離發(fā)生氧離子、游離態(tài)氧原子O*、氧分子和電子等混合的等離子體.等離子去膠操作方法：將待去膠片插入石英舟并平行氣流方向，推入真空室兩電極間，抽真空到1.3Pa，通入恰當氧氣，堅持真空室壓力在1.3-13Pa，加高頻功率，在電極間發(fā)生淡紫色輝光放電，經(jīng)過調(diào)理功率、流量等技術(shù)參數(shù)，可得不一樣去膠速...

微波等離子清洗機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合。通過其處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污潮物、油污或油脂。今天，我們來看看微波等離子清洗機操作注意事項與應(yīng)用吧。1、正確設(shè)置等離子設(shè)備的運行參數(shù)，按時設(shè)備使用說明書來執(zhí)行。2、保護好等離子體的點火裝置，以確保等離子清洗機可以正常的啟動。3、等離子設(shè)備在啟動前的準備工作，要對相關(guān)的人員進行培訓(xùn)，按照要求嚴格執(zhí)行各項操作...

我們的優(yōu)勢｜NRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng)NANO-MASTERNRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng)，用于高速刻蝕硅、SiO2和Si3N4基片，通過配套HCP高密度中空陰極等離子源，系統(tǒng)可以支持RIE和RIE-HCP應(yīng)用，提供廣泛的應(yīng)用。眾多的優(yōu)勢配置，使得NRE-4000型系統(tǒng)具有許多優(yōu)勢：?超高的薄膜均勻性?良好的粘附力?超凈的沉積（高真空支持）?出色的工藝控制?高度的可重復(fù)性（計算機全自動工藝控制）?易使用（可直接調(diào)用編好的工藝程序）?運行可靠（所有核心組件均帶有...

試驗真空環(huán)境模擬為了考核和研究某些活動部件、伸展機構(gòu)的干摩擦、冷焊性能和研究材料在真空條件下的升華、重量損失、老化等效應(yīng)，需要在更高的真空度和其他空間環(huán)境因素的組合下進行試驗。大家都知道現(xiàn)在真空系統(tǒng)在各個行業(yè)的應(yīng)用越來越廣泛，下面我們?yōu)榇蠹医榻B一下現(xiàn)在常用的熱真空系統(tǒng)在熱真空試驗設(shè)備中的應(yīng)用吧。熱真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的制造工藝過程，是集成電路設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一；它也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中。真空系統(tǒng)在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用熱真空系統(tǒng)是指在真空和一...

兆聲清洗機不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點，而且克服了超聲波清洗的缺點。兆聲無損清洗機的工作原理是利用高能（850kHz）頻率效應(yīng)和化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對硅片進行清洗。在清洗過程中，換能器發(fā)出的高能聲波波長為1m，頻率為0.8MHZ。在聲波的驅(qū)動下，溶液的分子運動得更快。瞬時速度可達30cm/s。因此，無法形成超聲清洗等氣泡。相反，兆聲清洗機只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面，迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進入清洗溶液中。經(jīng)濟的發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對消費...

近些年以來，兆聲清洗機的發(fā)展非常迅速，無論是在工業(yè)清洗、市政工程清洗，還是民用清洗幾乎隨處可見高壓清洗機的應(yīng)用。目前高壓清洗機占各種清洗設(shè)備比例的80%以上。所以，我們在選購高壓清洗機時，重要的是根據(jù)使用要求選擇合適的設(shè)備型號，從而到達降低成本、減少損失和浪費的目的。兆聲清洗機用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造、裝配、使用過程及維護時生成或侵入的污染物；也可以適用于對工作油液的定期維護過濾，提高清潔度，避免或減少因污染而造成的故障，從而保證液壓系統(tǒng)設(shè)備的高性能、高可靠度和長壽命。清洗...

NANO-MASTER設(shè)計制造的磁控濺射系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)有*的競爭力，設(shè)備擁有以下突出的優(yōu)勢：1.計算機全自動控制的自動上下片，上面和對準的過程全部通過計算機控制，無需人工操作，并且不會損傷系統(tǒng)；2.全自動膜厚監(jiān)控，客戶可以在軟件設(shè)定目標膜厚，整個工藝階段可以實現(xiàn)無人值守，無需人工介入，薄膜膜厚具有高度的重復(fù)性；3.出色的膜厚均勻度，對于6"片范圍內(nèi)，濺射金屬膜時，可以達到優(yōu)于+/-1%的均勻度；4.系統(tǒng)可以支持濺射前的等離子預(yù)清洗功能，提供優(yōu)異的膜基層性能；5.系統(tǒng)支持預(yù)濺射，...